檢查燈SL8500主要有燈頭、支架、底座以及調光器這4部分組成,并使用了傳統(tǒng)桌面式設計,在檢測過程中可以很好的解放雙手。SL8500采用一顆20W進口LED,LED前增加了深圳熒鴻定制的光學透鏡模組,經過光學透鏡模組的多次轉換,可以得到特殊波長和色溫的檢測光源。
SL8500采用旋轉燈頭和調光器兩種調光模式,可根據需求調整相應的范圍。SL8500常用的主要有白光,黃綠光2種,可以通過增加深圳熒鴻定制濾光片得到綠光燈和藍光燈,另外也可根據用戶需求,定制不同波長的檢測燈。
SL8500-W白光燈采用一顆20W 6000K的白光LED光源,主要用于晶圓表面瑕疵檢測,尤其適合刮花和微刮傷的檢測。SL8500-W在30cm的光照度可達150000LX,且光均勻性可達90%,可精確檢測出晶圓表面1um的微小瑕疵。
SL8500-GY黃綠光燈采用的依然是一顆20W 6000K的白光LED光源,通過添加定制濾光片,最終輸出500-600nm波長的黃綠復合光,主要用于面板以及晶圓表面瑕疵檢測,尤其適合粉塵等表面異物檢測。SL8500GY在30cm處的光照度可以高達150000LX,且光均勻性高達95%,可精確檢測出晶圓表面1um的微小瑕疵。
SL8500-B藍光燈采用的是一顆20W 455nm的藍光LED光源,通過光學透鏡模組轉換,SL8500藍光燈光照度相當于傳統(tǒng)汞燈150W的光照度,可應用于熒光檢漏和熒光蛋白激發(fā)。