sunlonge晶圓瑕疵檢測燈主要為黃光、綠光，可檢測晶圓表面的冗余物 ，包括表面扶著的灰塵、顆粒、污染物等。這些晶圓瑕疵來自于切割、拋光、清洗、刻蝕等工序中產(chǎn)生的碎屑，或者是空氣中的塵埃，或者是化學試劑的殘留，還可檢測由機械損傷引發(fā)的晶圓表面劃痕、本變、剝離等現(xiàn)象，另外可檢測晶圓本身缺陷，如：空洞、凹坑。