使用深圳熒鴻工業(yè)表面瑕疵檢測燈檢測半導體襯底表面瑕疵視頻講解如下,更多關于半導體瑕疵檢測可咨詢0755-8923889。
檢測半導體襯底表面瑕疵前先對表面瑕疵檢測燈進行設置,瑕疵檢測燈燈頭高度與檢測臺之間距離為30-40cm,角度為垂直90度,放置黑色背景板于檢測臺上,打開瑕疵檢測燈并將亮度調到最大。采用懸空測試法,手拿半導體襯底放置于檢測燈與黑色背景板之間,半導體襯底與背景板之間的距離為15-20cm之間,半導體襯底與水平方向保持30-60度夾角。檢測瑕疵時,檢測員需要慢慢調整襯底與水平角度以尋找最佳的瑕疵點。