晶圓廠家將沙子/石英經(jīng)過(guò)脫氧提純、旋轉(zhuǎn)拉伸成晶棒、晶片分片、打磨拋光、Wafer鍍膜、上光刻膠、光刻、離子注射、電鍍、拋光、晶圓切片、測(cè)試、包裝入盒、發(fā)往封測(cè)燈一些列操作得到成品晶圓。出廠前，測(cè)試晶圓表面瑕疵缺陷來(lái)區(qū)分良品和不良品是很重要的一步。

晶圓表面的瑕疵缺陷主要有：①晶圓表面的冗余物，其種類(lèi)比較多，例如包含微小顆粒、灰塵、晶圓加工前一個(gè)工序的殘留物。這些冗余物的出現(xiàn)，一般是來(lái)自于晶圓表面的空氣污濁以及加工環(huán)節(jié)中化學(xué)試劑的清理不干凈等。這些冗余物的出現(xiàn)，將會(huì)嚴(yán)重的影響到晶圓表面的完整性；②晶圓的機(jī)械損傷，一般是指晶圓表面的因?yàn)閽伖?、或者是切片而為晶圓表面所造成的劃痕，該種缺陷一般是由于是化學(xué)機(jī)械造成的。

針對(duì)以上兩種瑕疵缺陷問(wèn)題，我們深圳熒鴻專(zhuān)為此研發(fā)桌面式晶圓表面瑕疵檢查燈SL8804-GY和便攜手持式晶圓表面瑕疵檢查燈SL8904-H。這兩款晶圓表面瑕疵檢查燈均采用4顆LED制作，分別為人眼敏感510-590nm黃綠光和365nm高強(qiáng)度紫外線光，能精準(zhǔn)檢測(cè)到1um的瑕疵，大大的提高檢測(cè)效率。了解更多，請(qǐng)咨詢(xún)深圳熒鴻0755-89233889。

晶圓晶片表面瑕疵缺陷檢查燈