半導(dǎo)體晶圓瑕疵檢測(cè)選擇人工還是自動(dòng)化，這兩個(gè)很多情況下不是對(duì)立的，具體選擇哪個(gè)需要根據(jù)實(shí)際具體的檢測(cè)需求進(jìn)行選擇。深圳熒鴻簡(jiǎn)單為你介紹幾項(xiàng)你就明白了，具體的選擇都是綜合幾項(xiàng)取舍。

1-成本考慮

如果不是大批量生產(chǎn)大多選擇人工測(cè)試，自動(dòng)化測(cè)試設(shè)備的成本是比較昂貴的，一般需要達(dá)到85%的自動(dòng)化標(biāo)準(zhǔn)才能考慮使用自動(dòng)化測(cè)試，而且需要批量生產(chǎn)。

 

2-測(cè)試階段需求

晶圓前端的制程（原材料等）大部分使用人工目視檢測(cè)，因?yàn)槿斯た梢越鉀Q自動(dòng)化設(shè)備解決不了的問(wèn)題，例如：隱形的裂紋，水印等；到了中端和后段使用人工目視瑕疵檢查燈就比較少一些，因?yàn)樽詣?dòng)化檢測(cè)設(shè)備大多都是綜合性的檢測(cè)設(shè)備，除了瑕疵檢測(cè)還包含了測(cè)試外觀等功能，另外在此階段也會(huì)使用人工目視瑕疵檢測(cè)燈用于抽檢等。

 

3-測(cè)試精度

人工測(cè)試用的檢查燈的強(qiáng)度和精度比較高，像我們深圳熒鴻用于晶圓檢測(cè)的檢測(cè)燈亮度高達(dá)十幾萬(wàn)LX，側(cè)重于宏觀檢測(cè)即一些測(cè)試要求高的，而自動(dòng)化檢測(cè)的對(duì)燈源要求沒(méi)那么高，主要是利用檢測(cè)的相機(jī)放大瑕疵倍數(shù)從而顯現(xiàn)出來(lái)，側(cè)重于微觀檢測(cè)。

深圳熒鴻專做人工目視檢測(cè)的晶圓瑕疵表面檢測(cè)燈，有各種樣式可供選擇，檢測(cè)亮度可達(dá)幾十萬(wàn)LX，也可根據(jù)用戶需求定制，詳情可聯(lián)系0755-89233889！