瑕疵檢測(cè)燈SL8500是一款黃綠光表面檢查燈（或者是白光），采用一顆20W高亮度進(jìn)口LED，距離30cm處的光照度可達(dá)15萬LX，照射面積為8-16cm的光圈，可用于檢測(cè)半導(dǎo)體晶圓、各種屏幕、玻璃、基材……表面缺陷瑕疵。SL8500已經(jīng)被應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓外延片、襯底（透明）以及掩模板（透明）表面缺陷檢測(cè)。有更高檢測(cè)要求的，可采用SL8600或咨詢0755-89233889！

SL8500檢測(cè)外延片表面瑕疵

1-在檢測(cè)臺(tái)放置黑色背景板
2-將SL8500檢測(cè)燈燈頭調(diào)整距離檢測(cè)臺(tái)40cm，燈頭與檢測(cè)臺(tái)角度為垂直90度（不同的燈不一樣）
3-接通電源，打開SL8500檢測(cè)燈并將亮度調(diào)到最大
4-將外延片置于檢測(cè)臺(tái)上并與水平角度保持一定角度（角度可見使用說明）
5-檢測(cè)員不斷調(diào)整外延片與水平的角度直到找到最佳的檢測(cè)視角

SL8500檢測(cè)掩膜版表面瑕疵

1-在檢測(cè)臺(tái)放置黑色背景板
2-打開SL8500檢測(cè)燈并將檢測(cè)燈亮度調(diào)到最大
3-將掩膜版懸空放置于SL8500瑕疵檢測(cè)燈與檢測(cè)臺(tái)之間，保持與檢測(cè)臺(tái)15cm距離，與水平保持30-60°的角度（不同檢測(cè)燈不一樣）
4-檢測(cè)員不斷調(diào)整掩膜版直到找到最合適的檢測(cè)效果角度

SL8500檢測(cè)襯底缺陷檢

1-調(diào)整瑕疵檢測(cè)燈燈頭高度與檢測(cè)臺(tái)之間距離為30-40cm，角度為垂直90度，
2-放置黑色背景板于檢測(cè)臺(tái)上，打開瑕疵檢測(cè)燈并將亮度調(diào)到最大。
3-采用懸空測(cè)試法，手拿半導(dǎo)體襯底放置于檢測(cè)燈與黑色背景板之間，半導(dǎo)體襯底與背景板之間的距離為15-20cm之間，半導(dǎo)體襯底與水平方向保持30-60度夾角（不同燈不一樣）。
4-檢測(cè)瑕疵時(shí)，檢測(cè)員需要慢慢調(diào)整襯底與水平角度以尋找最佳的瑕疵點(diǎn)。